摘要:提出了一种针对无限共轭距显微物镜的数值孔径测量方法,采用载玻片与空气界面处的全反射效应以及其在物镜的后 焦面产生的全反射圆作为数值孔径参考基准,根据阿贝正弦定理推导出物镜的数值孔径。 完成了基于该原理的实验测试系统 的研发,包括光学系统、控制系统和完整的后焦面算法流程。 其中的图像处理算法采用了二维傅立叶相关分析和灰度统计。 对 若干实际的油浸物镜的数值孔径进行了测量,结果表明本方法相对误差低于 1% ,远低于本文对比的其它方法。 本方法对应的 实验测量装置简单,可快速、全自动化地对实际的油浸物镜的数值孔径进行测量,且测量结果具有高精度和高重复性的优势,能 直接用于无限共轭距油浸物镜的数值孔径测量,解决当前制约我国高端镜头检测方面的困难,具有很好的应用前景。