摘要:本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。 采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密 测量部分,记为传感器 A。 为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器 A 相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器 B, 利用传感器 A 与传感器 B 相位作差实现绝对位移测量。 采用标准印刷电路板技术制作了传感器样机,搭建了实验平台,进行 了实验测试。 测试结果表明,激励电极引线方式对接收电极带来干扰,从而造成一次谐波误差。 为了抑制误差,提出了交叉反 射结构和分时方法,交叉反射结构将感应电极与另一端的反射电极引线相连,增大激励电极和接收电极的距离,分时方法通过 不同时间段对传感器 A 和传感器 B 施加激励信号,并把不工作的电极接地。 实验表明该结构和方法相互配合有效的抑制了干 扰,最终在 400 mm 范围内,补偿后实现了±300 nm 的测量精度。