摘要:质量不平衡是半球谐振子制造过程产生的主要缺陷之一,其对谐振子的振动特性产生重要的影响。 为制定半球谐振质 量不平衡评价方法及为修调提供依据,对谐振子的结构特征及质量不平衡进行了表征,通过耦合振动物理模型及仿真分析,明 确了谐振子耦合振动产生机理、质量不平衡对频率裂解及支撑损耗的影响。 并通过实验,测得了谐振子的不同去除质量下频率 裂解特性及耦合振动特性,得到了谐振子质量不平衡与振动特性之间的关系,通过实验数据得出未经过平衡的谐振子 1、3 次谐 波及 2 次谐波的分布特征,以及它们引入的支撑损耗分别为 1. 6×10 -8 、3. 7×10 -9 ;频率裂解与 4 次谐波不平衡质量对应关系为 0. 01 Hz/ μg,由此可以对谐振子质量不平衡进行评价及制定调平工艺。