摘要:微悬臂梁刚度的标定在工业和学术研究中有重要的意义。 传统微悬臂梁标定方法存在粘附摩擦、接触磨损等缺点。 为 了有效解决传统刚度标定中接触摩擦的难题,本文提出一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法。 该方法将静电力 作为标准载荷施加于微悬臂梁末端,基于胡克定律计算微悬臂梁刚度。 对平行极板结构进行了数值模拟,结果显示微悬臂梁与 参考极板的相对位置存在较小的偏差时,静电力偏差小于 5% 。 静电力标定实验结果显示微悬臂梁刚度为 0. 344 N/ m,相对测 量不确定度为 1. 86% 。 该方法适用于微悬臂梁的刚度标定,对微纳力值研究领域具有重大意义。