摘要:为了满足工程中一些特殊二维位移测量需求或提高位移测量效率,建立了结构简单紧凑的激光自混合干涉双通道 位移测量系统。 首先,基于三镜法-珀腔模型给出自混合干涉系统的数学方程。 其次,在弱反馈条件下施加线性电流调制, 依据自混合信号频率和外部物体距离的线性关系,当两个物体到激光器距离不同时,频域会呈现两个独立的谱峰,分别对其 进行相位解算,从而实现自混合双通道位移测量。 然后,数值模拟生成了双通道激光自混合信号,根据全相位频谱分析技术 对自混合信号两个谱峰的相位进行估算,重构了两个物体位移曲线,给出了仿真验证。 最后,搭建了实验系统,进行了自混 合干涉双通道位移测量实验,并给出实验测量结果。 实验结果表明,该系统可以完全区分两个运动物体,位移测量相对误差 优于 8. 42% 。 线性调频激光自混合干涉可以实现任意运动规律的双通道位移测量,通过继续分光其测量通道数仍可进一步 增加。