摘要:摘要：为了满足现代工业非接触、高精度以及快速对微型物体进行平面度测量的需求，本文采用3D激光测量方法研制了基于机器视觉的3D激光平面度测量系统。首先研究3D激光轮廓仪的扫描测量原理及平面度测量原理，然后对激光线图像进行预处理，确保后期测量的准确性，其次对几何特征进行定位和坐标转换，再进行数据处理，获取物体测量部位的三维测量值。本系统为微型物体几何尺寸的三维非接触、高精度、多尺寸测量提供了测量装置系统和相应的测量手段。最后实物测量实验验证文中测量方法的准确性、快速性和有效性，测量精度可达01 μm。